四路质子混气管式PECVD
本炉子分为四大部分：开启式管式炉，等离子射频电源（50-500w），真空泵和阀门、质子流量计。
该炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能，该炉底部安装了一对滑轨，可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉安装有行程开关，当炉盖打开时会自动切断电源，有效地保证使用者。为取得快速加热，可以预先加热炉子到设定的温度，移动炉子到样品位置。为获得快速冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。
主要特点：虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。这些具有反应祸心个点中性物质很容易被吸附到较低温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。
实验机理：辉光放等离子体重，电子密度高，电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100
技术参数：
1. 额定温度：1100℃ 2.上限温度：1200℃
3.电压：220V 4.加热元件：电阻丝
5.热电偶：K型 6.温控方式：智能化30段可编程控制
7.加热段：220mm+220mm
8.升温速率：≤30℃/min 推荐升温速率：≤15℃/min
9.射频电源：输出功率：50-500w可调±1％ 稳定性
频率：13.56MHz±0.005％
噪声：﹤50dB
冷却：空气冷却
输入功率：AC220V，500W
10.真空泵和阀门：采用KF25系列波纹管和精密球阀连接
真空度可达10ˉ³pa
数字真空压力表可直观的显示数值
11.质量流量计：内部装有高精度数字显示质量流量训科准确的控制气体流量
气体流量范围为0-200sccm，误差：0.02％
一个气体搅拌罐上安装了液体释放阀的底部情况
不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入的数量
进气口：采用标准双卡套接头
